分析從極小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓，或甚至整塊平板顯微器，其間不會(huì )對樣品造成破壞。借助最大 300 mm 的橫向移動(dòng)距離和最高 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下檢測大量樣品。一體化機柱設計確保了穩定性。在超凈室內檢測晶圓的應用中 – Axio Imager Vario 已通過(guò) DIN EN ISO 14644-1 標準認證，并滿(mǎn)足潔超凈室等級 5 的要求。利用驅動(dòng) Z 軸的電動(dòng)馬達與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調整至更佳聚焦位置。
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